徑流分子泵

徑流分子泵(簡稱徑流泵)是新一代真空泵，該泵具有結構簡單、能耗低、無油蒸汽污染和兼有強勁的中真空抽氣能力，一舉攻克了真空產業的三大難題。

徑流泵與傳統真空泵的性能比較

　　● 徑流泵與分子泵相比，高真空性能大體持平，最高工作壓強高出分子泵十倍。

　　● 徑流泵與相近尺寸的羅茨泵相比，中真空抽速全面超越羅茨泵，其中，在低壓等離子體放電區段(0.1~30Pa)，抽速高出羅茨泵7~100倍，能耗不到羅茨泵1/3。

　　● 徑流泵與抽速相近的羅茨泵相比，重量不到羅茨泵的1/10，能耗不到1/15。

　　徑流泵的問世，將開創真空產業的新時代。

優點：

　　● 結構創新：徑流泵采用平圓盤轉子取代傳統分子泵的渦輪轉子，攻克了分子泵易打片損壞的一大缺陷。

　　● 性能創新：在低壓等離子體放電的主要區段0.1~30Pa一臺徑流泵能取代幾臺~幾十臺羅茨泵。

　　● 抽氣工藝創新：不需要干泵，即可獲得十分清潔的無油真空，大幅度降低了無油真空的費用，為無油真空進入工業應用領域掃清了障礙。

　　● 徑流泵從理論創立、結構發明、直至產品轉化，均由我國獨立完成，是一項富有原創性的科技成果，對提升我國真空產業的自主創新能力發揮積極作用。

　　● 徑流泵具有獨立、完整、自主的知識產權。