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        徑流分子泵

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        徑流分子泵

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        徑流分子泵(簡稱徑流泵)是新一代真空泵,該泵具有結構簡單、能耗低、無油蒸汽污染和兼有強勁的中真空抽氣能力,一舉攻克了真空產業的三大難題。

        徑流泵與傳統真空泵的性能比較

          ● 徑流泵與分子泵相比,高真空性能大體持平,最高工作壓強高出分子泵十倍。

          ● 徑流泵與相近尺寸的羅茨泵相比,中真空抽速全面超越羅茨泵,其中,在低壓等離子體放電區段(0.1~30Pa),抽速高出羅茨泵7~100倍,能耗不到羅茨泵1/3。

          ● 徑流泵與抽速相近的羅茨泵相比,重量不到羅茨泵的1/10,能耗不到1/15。

          徑流泵的問世,將開創真空產業的新時代。

        優點:

          ● 結構創新:徑流泵采用平圓盤轉子取代傳統分子泵的渦輪轉子,攻克了分子泵易打片損壞的一大缺陷。

          ● 性能創新:在低壓等離子體放電的主要區段0.1~30Pa一臺徑流泵能取代幾臺~幾十臺羅茨泵。

          ● 抽氣工藝創新:不需要干泵,即可獲得十分清潔的無油真空,大幅度降低了無油真空的費用,為無油真空進入工業應用領域掃清了障礙。

          ● 徑流泵從理論創立、結構發明、直至產品轉化,均由我國獨立完成,是一項富有原創性的科技成果,對提升我國真空產業的自主創新能力發揮積極作用。

          ● 徑流泵具有獨立、完整、自主的知識產權。

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